压电陶瓷
精度检验
步进电机
AC伺服电机驱动
接线图
力矩载荷的影响
选择项
真空用小型电动平台
真空度与Q-mass (质谱) 的实测数据
平台控制器（5相步进电机用）
平台控制器（AC伺服电机用）
压电陶瓷用平台控制器
驱动器
步进电机和驱动器接线图
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连接例
系统连接图
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西格玛精密平台
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